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本公开涉及微机电系统振动传感器管芯。微机电系统振动传感器管芯可以包括基板，该基板具有顶部部分、安装表面和至少部分地延伸穿过该基板的孔。管芯可以包括第一电极，该第一电极联接至基板的顶部部分并且置放在孔上方。管芯可以包括第二电极，该第二电极布置...
该专利属于楼氏电子（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过楼氏电子（苏州）有限公司授权不得商用。

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