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本申请实施例提供一种柱形晶体管及其制造方法、半导体器件及其制造方法，所述柱形晶体管的制造方法包括：提供一晶圆，所述晶圆具有多个晶体管形成区域，每一所述晶体管形成区域具有一晶体管柱，每一所述晶体管柱具有一裸露的侧壁；在每一所述晶体管柱的侧壁上...
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