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制备钙钛矿膜层的系统和方法及其应用技术方案
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文档序号:30323579
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本发明公开了制备钙钛矿膜层的系统和方法及其应用,所述系统包括:近空间升华设备、气相输送设备和基片退火设备,其中,所述近空间升华设备包括第一准备腔室、近空间升华腔室和第一出片腔室;所述气相输送设备包括第二准备腔室、气相反应腔室、第二出片腔室和...
该专利属于无锡极电光能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡极电光能科技有限公司授权不得商用。
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