下载用于电源与坩埚的连接组件及坩埚系统的技术资料

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一种用于电源与坩埚的连接组件及坩埚系统。所述连接组件包括:连接件,穿过所述第一开孔以及所述第二开孔,并具有伸出所述第一开孔远离所述第二开孔的一侧的第一端,以及伸出所述第二开孔远离所述第一开孔的一侧的第二端;至少一个偏心轮,每个所述偏心轮与所...
该专利属于中国原子能科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国原子能科学研究院授权不得商用。

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