下载一种超薄薄膜力学性能测量装置和力学性能测量方法的技术资料

文档序号:30318852

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本发明公开了一种超薄薄膜力学性能测量装置和力学性能测量方法,包括:操作箱,其内部设置有减震平台;精密二维移动平台,精密可控升降机构,精密可控升降机构固定连接有转接杆,转接杆连接有视觉定位模块和固定底座,固定底座的下端连接有压头;固定支架上固...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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