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本实用新型涉及一种相变材料化学机械抛光设备，包括柜体，所述柜体的顶端固定设有壳体，所述柜体的顶端开设有凹槽，所述凹槽底端内壁的中间位置处固定设有底座，所述底座的顶端固定设有支座，所述支座的一侧顶端固定设有夹板一，所述支座的另一侧顶端滑动设有...
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