下载一种单晶硅片生产的高效除杂装置的技术资料

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本实用新型提供一种单晶硅片生产的高效除杂装置,包括罐体,罐体内设有混合反应腔,混合反应腔的顶部一侧固定设有化学试剂滴罐,且内部设有搅拌器,搅拌器的顶端穿过罐体,且与第一驱动电机的输出轴机械连接,混合反应腔的底部设有出液管,出液管内竖直设有分...
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