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本实用新型公开了一种新型硅片边缘抛光机，涉及硅片抛光技术领域包括机架、磨头组件和旋转台，机架的内部底端设置有接液盆，接液盆的上端中央设置有旋转台，旋转台的顶端表面吸附有硅片，旋转台远离硅片的一端设置有供液接口，所述机架的中部远离旋转台的一侧...
该专利属于苏州博宏源机械制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州博宏源机械制造有限公司授权不得商用。

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