专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
艾克塞利斯科技公司
>
经由用于半导体处理设备的经加热腔室壳体减少腔室壁上的凝结气体制造技术
>技术资料下载
下载经由用于半导体处理设备的经加热腔室壳体减少腔室壁上的凝结气体的技术资料
文档序号:30253610
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
工件处理系统具有腔室,腔室具有一个或多个腔室壁,腔室壁限定圈定腔室容积的表面。一个或多个腔室壁加热器选择性地将腔室壁加热到腔室壁温度。腔室内的工件支撑件选择性地支撑具有一种或多种材料的工件,该一种或多种材料具有相应的凝结温度,在高于凝结温度...
该专利属于艾克塞利斯科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过艾克塞利斯科技公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。