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柔性超声阵列制造技术
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文档序号:30224721
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本发明提供了一种用于超声监测系统的用于检查弯曲物体的柔性超声换能器(1)。超声换能器(1)包括集成电路结构(7)和多层结构(2),所述多层结构(2)包括超声换能元件(3a)的阵列(3)以及控制电路(5a)的阵列(5),阵列(3)被布置在第一...
该专利属于鲁汶天主教大学所有,仅供学习研究参考,未经过鲁汶天主教大学授权不得商用。
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