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四氯化硅产品罐尾气回收装置制造方法及图纸
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下载四氯化硅产品罐尾气回收装置的技术资料
文档序号:30219898
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本实用新型公开了一种四氯化硅产品罐尾气回收装置,包括罐式集装箱,还包括与罐式集装箱通过管路连通的尾气收集罐,尾气收集罐设有尾气出口,尾气出口连接的管路分为两路,一路与淋洗塔连接,另一路经过压缩机与缓冲罐连接。本实用新型尾气回收装置将罐式集装...
该专利属于武汉新硅科技潜江有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉新硅科技潜江有限公司授权不得商用。
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