下载离子生成装置、方法及程序的技术资料

文档序号:30219075

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提供一种离子生成技术,使用一台离子源,使核子平均能量一致的不同种类离子在不同的定时输出。在离子生成装置(10)中,具备:离子生成能量设定部(32),使在真空腔(25)内电离生成的第一离子(21)及第二离子(22)保持混合状态不变地从开口(2...
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