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一种传感器，包括微制造芯片，表面上形成有一个或多个腔，所述腔包括感测元件，一个或多个盖子，每个盖子覆盖所述表面以封闭所述腔中的至少一个，所述盖子接触在所述表面上界定所述腔的边缘。电路部分每个连接相应的一个盖子，以允许盖子响应于暴露于电化学溶...
该专利属于国际商业机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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