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本实用新型公开了一种由多组吸收塔串联构成的磷化氢气体提纯装置；其中每组吸收塔包括吸收塔本体和循环槽，所述吸收塔本体与循环槽之间通过循环管道连接，所述吸收塔本体上设置磷化氢气体进口和磷化氢气体出口，所述磷气体进口和气体出口之间设置填料区，所述...
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