温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种节能装置，应用于一排气管和一真空泵的一真空泵出气端，节能装置包括一主体、一阀门和一真空产生器。主体包括一主体进气端、一主体出气端、一第一腔体和一第二腔体。主体进气端连通真空泵出气端。主体出气端连通该排气管。第一腔体连通主体进气...
该专利属于信强(宁波)半导体设备制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过信强(宁波)半导体设备制造有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。