下载泵和冷却装置的技术资料

文档序号:30205780

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种冷却装置,用于容纳一冷却液并冷却一泵,泵包括一泵上机、一泵下机和一抽气管,泵上机借由抽气管连接泵下机。冷却装置包括一主体、一连接孔和一冷却液通道。主体位于泵上机和泵下机之间。连接孔位于主体,且抽气管位于连接孔内。冷却液通道位于...
该专利属于信强(宁波)半导体设备制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过信强(宁波)半导体设备制造有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。