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本实用新型公开了一种真空电子器件真空除气设备，包括基板，所述基板的顶部固定连接有真空除气机箱，所述基板顶部的左侧固定连接有真空泵，所述真空泵的进风口与真空除气机箱连通。本实用新型通过设置固定机构，可以对防护套进行固定，防护套通过密封套对连接...
该专利属于南京蔚空微纳科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京蔚空微纳科技有限公司授权不得商用。

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