温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种石英石拉管炉的清洗辅助治具，所属拉管炉清洗装置技术领域，包括清洗池体，所述的清洗池体内设有清洗腔，所述的清洗腔两侧均设有溢水腔，所述的溢水腔上端均设有边搁板，所述的清洗腔内设有辅助载盘，所述的辅助载盘上端设有倒置石英石拉管...
该专利属于杭州中欣晶圆半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州中欣晶圆半导体股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。