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本发明实施例提供一种对准系统及光刻机，对准系统包括：对准光束产生单元，用于产生对准光束；物镜；第一偏振分光棱镜，位于物镜远离对准标记一侧，且位于一次衍射光的出射光路上；第一偏振分光棱镜包括入光面、第一出光面、第二出光面和第三出光面；入光面与...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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