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本发明实施例提供一种对准系统及光刻机，对准系统包括：对准光束产生单元，用于产生对准光束；偏振分光单元，位于对准光束产生单元的出射光路上，用于将对准光束分为偏振方向相互垂直且传播方向不同的第一光束和第二光束；对准标记成像单元，位于第一光束的传...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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