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本发明提供一种套刻测量方法及装置,包括:使测量光束照射至套刻标记并形成正负级次衍射光后,所述正负级衍射光以相同方向传播并发生干涉产生干涉光;利用能量探测器获取所述干涉光的光强。即,本发明采用使正负级衍射光发生相干产生干涉光,对干涉光的光强直...该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种套刻测量方法及装置,包括:使测量光束照射至套刻标记并形成正负级次衍射光后,所述正负级衍射光以相同方向传播并发生干涉产生干涉光;利用能量探测器获取所述干涉光的光强。即,本发明采用使正负级衍射光发生相干产生干涉光,对干涉光的光强直...