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本申请实施例提供的研磨装置，包括研磨室、研磨刀和研磨电机。所述研磨室用于容纳外形尺寸不大于所述研磨室内壁尺寸的研磨杯。当用真空泵对所述研磨室抽真空时，所述研磨室内的气压变小，此时所述研磨杯开始逐渐朝向所述研磨室的内壁膨胀并最终贴附于所述研磨...
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