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一种半导体结构及其形成方法,形成方法包括:提供基底,基底包括中心区域和环绕中心区域的晶边区域;在基底上形成目标图形层,位于中心区域的目标图形层为器件目标图形层,位于晶边区域的目标图形层为伪目标图形层;在伪目标图形层中掺杂离子,形成掺杂图形层...
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