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一种光栅横向剪切干涉波前重建过程中光瞳坐标畸变和剪切量变化的同时补偿方法。波前经过光栅衍射后各级次衍射波前的形状及光路均不相同，使得一方面探测器平面检测到的坐标系相对光瞳坐标系存在畸变，另一方面剪切量随着坐标位置发生变化。该方法通过追迹各级...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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