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一种飞秒激光旋转加工光纤微结构的装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:30164368
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本发明公开了一种飞秒激光旋转加工光纤微结构的装置及方法,该装置包括飞秒激光器和计算机,在飞秒激光器的激光光路上通过光学固定支架依次放置有扩束镜、孔径光阑、第一反射镜、第二反射镜和扫描振镜,在扫描振镜正下方安装有数控三维运动平台,数控三维运动...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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