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北京北方高业科技有限公司
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一种具有组合柱状结构的红外探测器制造技术
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下载一种具有组合柱状结构的红外探测器的技术资料
文档序号:30163622
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本公开涉及一种具有组合柱状结构的红外探测器,红外探测器中,CMOS测量电路系统和CMOS红外传感结构均使用CMOS工艺制备,第一柱状结构位于反射层与梁结构之间,第二柱状结构位于吸收板与梁结构之间,吸收板和梁结构均包括电极层和至少两层介质层,...
该专利属于北京北方高业科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京北方高业科技有限公司授权不得商用。
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