下载高速排片机的技术资料

文档序号:30147741

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本发明公开了一种高速排片机,其中:WAFER载台机构用于装夹载有多个片状半导体元件的薄膜;第一视觉模组设于WAFER载台机构上方,第一视觉模组用于获取WAFER载台机构上的片状半导体元件位置;第一取放模组用于从WAFER载台机构上拾取片状半...
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