下载一种低功耗三维阻变存储器的技术资料

文档序号:30138175

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本发明公开了一种低功耗三维阻变存储器,在阻变存储器的电极与阻变薄膜之间插入了一层石墨烯阻挡层,所述石墨烯阻挡层为化学气相淀积法制备的石墨烯薄膜,其中存在少量纳米缺陷孔。该石墨烯阻挡层可以限制电极金属往阻变层的移动,使金属只能从少量的缺陷孔中...
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