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本发明公开了一种测厚装置以及测厚方法。测厚装置包括用于放置待测物的载物台、测量组件以及Z轴动力组件；所述Z轴动力组件用于驱动所述测量组件依次按照第一速度和第二速度下降，直至所述测量组件与所述待测物接触，所述第一速度大于所述第二速度。这种测厚...
该专利属于深圳市大族数控科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市大族数控科技股份有限公司授权不得商用。

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