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本实用新型公开了一种实验室惰性气体分流快速拼接模块化装置，包括主管盘面、至少一个非末端支路盘面和末端支路盘面；主管盘面包括进气口、进气管路、波纹管阀和主管压力表，进气口连接进气管路；非末端支路盘面包括非末端出气口、非末端出气管路、中端第一隔...
该专利属于上海兄弟微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海兄弟微电子技术有限公司授权不得商用。

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