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本实用新型公开了一种用于真空镀膜的真空油扩散泵，涉及真空油扩散泵技术领域，为解决现有的真空油扩散泵在清洗时操作不便，不具备自主清洗结构的问题。所述泵体的上端固定安装有清洗壳体，所述清洗壳体的内部中轴位置固定安装有固定座，所述固定座的下端面上...
该专利属于莱糸真空科技（常州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过莱糸真空科技（常州）有限公司授权不得商用。

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