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本发明公开了一种光学多倍程纳米级位移测量系统，该系统包括：包括：光源、偏振分束棱镜、第一相位改变模块、第二相位改变模块、第一直角棱镜、第二直角棱镜和位移测量模块；在设置光源、偏振分束棱镜、第一相位改变模块、第二相位改变模块和位移测量模块的基...
该专利属于中国计量科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量科学研究院授权不得商用。

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