下载一种表面具有纳米金刚石薄膜涂层的PCBN刀具及其制备方法的技术资料

文档序号:30090430

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本发明提供了一种表面具有纳米金刚石薄膜涂层的PCBN刀具及其制备方法,所述制备方法包括以下步骤:将预处理后的PCBN刀具在纳米金刚石粉中进行干抛至光亮,然后置于基台上,放入微波等离子体化学气相沉积系统中抽真空,抽真空后通入第一反应源气体;开...
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