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一种集成共焦法与三角法的探路式测头装置及其测量方法制造方法及图纸
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下载一种集成共焦法与三角法的探路式测头装置及其测量方法的技术资料
文档序号:30077772
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本发明公开了一种集成共焦法与三角法的探路式测头装置及其测量方法。该侧头装置包括测头座、共焦法位移传感器探头、三角法激光位移传感器和移位式传感器安装组件。所述的共焦法位移传感器探头安装在测头座的底部,且检测头朝下设置。三角法激光位移传感器与测...
该专利属于杭州电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过杭州电子科技大学授权不得商用。
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