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本实用新型提供的用于测试制冷机低温冷头微振动的装置，将激光光束入射在四象限探测器上，并采集四个像素上的激光强度进行差和运算得出激光中心的偏移反推出制冷机工作时低温冷头位移偏移，测试其微振动，此测试方法可以解决制冷机低温冷头(40K
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该专利属于中国科学院理化技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。

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