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本实用新型公开了一种新型COF前制程清洗设备，包括箱体、清洗腔、移动放置箱、清洗环、前置清洗箱和后置清洗箱，所述箱体内壁设有清洗腔，所述清洗环内壁前端固定连接有前置清洗箱，所述清洗环内壁后端固定连接有后置清洗箱，所述移动放置箱内壁右端设有移...
该专利属于江苏科沛达半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏科沛达半导体科技有限公司授权不得商用。

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