下载一种清洗液的纯净度检测装置及系统的技术资料

文档序号:30008801

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本实用新型实施例公开了一种清洗液的纯净度检测装置及系统。该清洗液的纯净度检测装置,包括清洗排管,清洗排管用于流通清洗玻璃基板的清洗液,清洗排管的流通路径上配置有计数器,计数器用于对流过清洗排管的清洗液内包含的杂质颗粒的数量进行统计,并输出统...
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