下载气体感测器的技术资料

文档序号:29994835

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本发明提供了一种气体感测器。上述气体感测器包括一半导体基底、一第一指状电极、一第二指状电极、一第三指状电极、一第一半导体层与一第二半导体层。上述第三指状电极设置在上述第一指状电极以及上述第二指状电极之间。上述第一半导体层形成在上述第一指状电...
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