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本实用新型提供一种基于光斑图像的单向微位移检测装置，包括激光器和数字相机，在激光器的出射光路上设置有分束镜；所述分束镜的反射光路上依次设置准直物镜、前置镜和被测物反射镜；所述被测物反射镜的反射光路依次经前置镜和准直物镜到达分束镜，并经分束镜...
该专利属于四川云盾光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川云盾光电科技有限公司授权不得商用。

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