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单晶炉加料方法及单晶炉加料系统技术方案
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文档序号:29972021
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本发明涉及一种单晶炉加料方法及单晶炉加料系统。单晶炉加料方法包括:确定下一台待加料的单晶炉;将单晶炉加料机驱动至待加料的单晶炉位置处;将单晶炉加料机的出料口与待加料的单晶炉的进料口密封对接;控制单晶炉加料机向待加料的单晶炉加料;在向待加料的...
该专利属于无锡松瓷机电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡松瓷机电有限公司授权不得商用。
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