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本发明公开一种HfO2基铁电隧道结器件及其制备方法。HfO2基铁电隧道结器件包括：衬底；底电极，形成在所述衬底上；ZrO2/HZO/Al2O3/HZO/ZrO2叠层结构，其具有对称冠状能带；顶电极，形成在所述叠层结构上。通过引入Al2O3中...
该专利属于复旦大学所有，仅供学习研究参考，未经过复旦大学授权不得商用。

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