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本发明提供一种掩膜版清洗装置，包括挂载架，挂载架内设有离心组件，挂载架的外侧套设有清洗组件，挂载架的两端安装有抵板，离心组件包括旋转轴，旋转轴的两端分别与两个抵板转动连接，其中一个抵板上安装有驱动电机，驱动电机与旋转轴驱动连接，旋转轴上设有...
该专利属于江苏高光半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏高光半导体材料有限公司授权不得商用。

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