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本发明涉及一种无水氟化铝的制备方法，将氯化铝气体经载气与四氟化硅气体经载气采用等离子体气相沉积法制备得到氟化铝。所述的载气为氮气或氩气，氮气或氩气的纯度大于99.999%。所述的氯化铝气体经载气与四氟化硅气体经载气进行气相沉积过程中进入腔体...
该专利属于湖北省黄麦岭磷化工有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖北省黄麦岭磷化工有限责任公司授权不得商用。

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