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一种超表面谐振增强窄带光电探测器及其制备方法技术
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文档序号:29929380
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本发明公开了一种超表面谐振增强窄带光电探测器及其制备方法,属于微纳光学和窄带光电探测器领域。本发明通过调整介质超表面反射镜的横向参数,能够在不改变其余的参数条件下调整探测器的响应波长,同时集成多个波长的窄带探测单元,每一种窄带探测单元只对特...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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