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本公开内容的实施方式涉及选择性金属硅化物沉积方法。在一个实施方式中，加热具有含硅表面的基板，并且含硅表面被氢封端。将基板暴露于MoF6前驱物和Si2H6前驱物的顺序循环，随后进行额外的Si2H6过量暴露，以选择性地在基板的含硅表面上沉积包含...
该专利属于加利福尼亚大学董事会所有，仅供学习研究参考，未经过加利福尼亚大学董事会授权不得商用。

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