下载一种集成CMOS电路的热电堆传感器系统的技术资料

文档序号:29916885

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本申请公开了一种集成CMOS电路的热电堆传感器系统,包括衬底,所述衬底包括第一区域和第二区域;CMOS电路,位于所述第一区域内;热电堆传感器,位于所述第二区域内,包括多个热电堆结构以及第一类金属连线,所述第一类金属连线将所述多个热电堆结构与...
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