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本实用新型公开了一种微波等离子体产生装置，属于微波技术领域，包括等离子体炬；所述等离子体炬包括外壳；所述外壳内设有圆柱状腔；所述圆柱状腔内设有反应管；所述外壳上设有进气口和出气口；所述进气口和出气口通过反应管连通；所述外壳上设有馈口；所述馈...
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