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本实用新型公开了一种基于铌酸锂的波导阵列，包括：硅基衬底；沉积在所述硅基衬底上的二氧化硅缓冲层；位于所述二氧化硅缓冲层上的芯层；位于所述芯层上，并包覆所述芯层的二氧化硅包层；其中，所述芯层包括：左右对称的两个铌酸锂宽波导、第一铌酸锂光栅和第...
该专利属于苏州科沃微电子有限公司;上海理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过苏州科沃微电子有限公司;上海理工大学授权不得商用。

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