下载一种测量离子密度对相对介电常数影响的装置及测量方法的技术资料

文档序号:29832925

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本发明公开一种测量离子密度对相对介电常数影响的装置及测量方法,包括主控装置、空心腔体结构、射频收发装置、电气控制装置以及真空控制装置,主控装置分别与真空控制装置以及电气控制装置连接,真空控制装置、射频收发装置、电气控制装置分别与空心腔体结构...
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