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本发明提供一种能够容易地实施与分割槽有关的缺陷的检查的检查装置。检查装置(100)具备检测部(200)，该检测部(200)检测与形成于被检查物的分割槽有关的缺陷。检测部(200)包括：投光部(310)，其向被检查物投射检查光；以及受光元件(...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

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